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半導體材料四探針電阻率測試儀詳情

發布時間: 2023-09-20 21:53:36 點擊: 646

半導體材料四探針電阻率測試儀詳情

半導體材料四探針電阻率測試儀詳情介紹

半導體材料四探針電阻率測試儀是一種用于測量半導體材料電阻率的儀器。四探針電阻率測試儀采用四探針法,這是一種廣泛采用的標準方法,具有設備簡單、操作方便、精確度高、對樣品的形狀無嚴格要求等優點。四根探針的針尖在同一直線上,并且間距相等,一般采用0.5mm的間距。不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。

半導體材料的電阻率是反映其導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多,四探針法是一種常用的方法。四探針電阻率測試儀適用于片狀、棒狀等半導體材料的測量,如半導體器件廠和材料廠。


四探針電阻率測試儀的技術指標包括:

方塊電阻范圍:10-52×105Ω/□

電阻率范圍:10-62×106Ω-cm

電導率范圍:5×10-6106s/cm

測試電流范圍:0.1μA100mA

電流精度:±0.1%讀數

顯示讀數:電阻、電阻率、方阻、電導率、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率、壓強等。

四探針電阻率測試儀采用四探針法進行測量,需要使用探頭。探頭用于測量樣品的電阻率,通常由四根探針組成,呈直線排列,間距為0.5mm。不同探針間距的探頭需要針對不同的樣品進行校正。探頭一般由鎢或鉑制成,具有高導電性和耐腐蝕性。探頭的形狀和尺寸也會影響測量結果,因此需要選擇合適的探頭。常見的探頭形狀有圓形和平面形等。在測量過程中,探頭將電流施加到樣品上,并測量樣品兩端的電壓差,從而計算出樣品的電阻率。



選擇四探針電阻測試儀時需要考慮以下因素:

測試范圍:根據被測樣品的方塊電阻范圍選擇合適的測試范圍。

精度:選擇具有較高測量精度和穩定性的測試儀。

附加功能:選擇具有附加功能的測試儀,如計算機控制、自動測試、數據處理和分析等。

測試速度:選擇具有較快測試速度的測試儀,可以提高工作效率。

探頭類型:根據被測樣品類型選擇合適的探頭類型,如單電測、雙電測、手動/電動等。

儀器品牌和價格:選擇知名品牌和價格合理的測試儀。

綜上所述,選擇四探針測試儀時需要根據實際需求和預算進行綜合考慮,選擇適合自己的測試儀。


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